방식 및
장치명

시험시의 압력 상태

검지원리와
검지수단

프로브
물질및
사용유체

검지가능
표준리크의
유량(개략)
Pam3/s

비 고

피시험물
내부

피시험물
외부

가압장치법
가압
대기압
압력강하
가압대기

10-1(order
이하 동)

-
진공방치법
진공
대기압
압력상승
-

10-6∼10-8

build up
테스트라고도 함
수압시험법
가압
대기압
-
가압수

10∼10-2

-
가압발포법

가압

대기압

물 리크량
기포

가압대기
(비눗물)

10-2∼10-3

비눗물을 도포하는
도포제 상품도 있음

수증발포법

가압

대기압

물탱크
중에 발생한 기포

가압대기

10-4∼10-5

물탱크에
비눗물을 사용하면
감도 올라감

할로겐
리크
디텍터법

가압

대기압

할로겐
가스의 전리

할로겐
가스(프레온등)

10-5∼10-9

상품이 있고,
스니퍼법에 의함

상동

진공

대기압

상동

상동

10-6

별로 사용되지 않음

헬륨리크
디텍터법

가압

대기압

질량분석에 의한
헬륨검지

헬륨

10-8∼10-11

상품이 있고,
스니퍼법에 의함

상동

진공

가압
또는
대기압

상동

상동

10-11∼10-13

외부 피복법, 분무법

상동

가압

진공

상동

"

10-7∼10-11

전처리로 헬륨봄빙 등
가압 처리 필요

라디오아이소토프법(RI)법

"

대기압

방사선
검출

방사성
가스
(85Kr 등)

10-11

수입품 있음
전처리로 방사성
가스의 봄빙 필요

진공계법

진공

"

대기와
프로브 가스의 감도차

알콜,
헬륨
부탄 등

10-1∼10-9

상황에 따라 피라니
진공계, 전리 진공계
등을 사용

테슬라코일법

"

"

방전된
리크구멍
으로 침입

-

10-5

유리제 배기장치에 한함

잔류가스
분석법

"

"

프로브
물질의
피크검출

알콜,
헬륨 등

10-10

잔류가스 분석계
사용

이온펌프법

"

"

이온펌프의
방전전류
변화

헬륨 외

10-3∼10-9

스피터 이온 펌프
이용

가이슬러
관법

"

"

방전색의
변화

헬륨,
알코올 외

10-2

적분법으로 볼 수 있고 유기물은 청백,
공기는 적자색

청음법

가압

"

리크구멍에서 발생하는
음의 검출

가압대기

10∼10-1

-

초음파법

"

"

리크구멍에서 발생하는 초음파 검출

"

10-2

상품이 있음

고무막법

"

"

고무막의
변형

"

10-3

 

반도체
검출법

"

"

반도체센서에 의한 검출

특정의 가연성 가스

10∼10-7

"가스 리크 경보기"
상품 있음

열전도
검출법

"

"

열전도의
변화

헬륨 외

10-6

- 

SF6
디텍터법

"

"

SF6의 음(-)
이온의 검출

SF6 가스

10-7

수입품 있음.
고주파 방전형도
있음

암모니아법

가압

대기압

암모니아에 의한 화학
반응

암모니아

10-5∼10-9

검출용 도포제 있음
복사 감광지 등도
가능

불꽃색
반응법

"

대기압

불꽃색의
변화

프레온
가스외 수소가스

10-3

상품 있음.
라이터도
사용 가능

수소불꽃
검출법

"

대기압

수소염 중의 이온의 검지

-

-

도시가스 리크 체크

컬러 체크

대기압

대기압

적 침투액
백 현상액의 분무

프레온액

10-5

상품 있음
구멍의 주변 주의

프레온
봄빙법

대기압
"

가압·
대기압

프레온FC78
액의 FC43
액 중에서
기화와 발포

- 

10-6

봄빙 및
가열장치
필요